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案例详情
无尘室黄光区操作
日期：2025-05-11 12:16
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摘要：光学黄光区操作相关须知:
1、 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。
2、己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖必须盖妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。
4、光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气吹之。
光学黄光区操作相关须知:
1、湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。
2、己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内，盒盖必须盖妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。
4、光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气吹之。
