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無塵室是汙染控製的基礎
日期：2025-05-16 06:50
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摘要：
無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清淨室。它是汙染控製的基礎。冇有無塵室，汙染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裡麵，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級彆。無塵室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特彆設計之房間。
無塵淨化級彆主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%冇有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
無塵室每立方米將小於0.5微米粒徑的微塵數量控製在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控製在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級彆。
